杭州士兰微股份有限公司集成电路芯片光刻间等车间净化工程由中国电子工程设计院设计。

车间采用恒温恒湿空调机组共有8台，风机，水泵变频，监视室内微压差，室内温湿度严格控制（温度正负1℃,湿度正负2.5%Rh）。空调自控系统采用Honeywell EXCEL5000 EBI系统1套，系统于2002年7月上旬投入使用，系统运行良好。