北京中科半导体所3＃实验楼采用Honeywell EBI系统，监控J1净化空调机组、J2净化空调机组、J3净化空调机组、K-1空调机组、排风机系统及冷冻站。洁净系统对实验室区域内压力、温湿度及洁净度等参数实施监控。总监控点约540点左右，项目投入运行后，系统运行良好！

杭州士兰微股份有限公司集成电路芯片光刻间等车间净化工程由中国电子工程设计院设计。

车间采用恒温恒湿空调机组共有8台，风机，水泵变频，监视室内微压差，室内温湿度严格控制（温度正负1℃,湿度正负2.5%Rh）。空调自控系统采用Honeywell EXCEL5000 EBI系统1套，系统于2002年7月上旬投入使用，系统运行良好。